01.3 / Газопоглотители
Геттерные насосы
Общее описание
Геттерные насосы – насосы использующие физическую адсорбцию газов для их удаления из вакуумного объема.
Большим достоинством геттерных насосов является отсутствие масла в конструкции, что позволяет получить с их помощью "безмасляный" вакуум. Обычно геттерные насосы используют как насосы предварительного разряжения.
В ряде случаев геттерные насосы используют как самостоятельное средство откачки для получения безмасляного среднего и высокого вакуума.
Конструкция геттерного насоса включает в себя подогревательный узел, обеспечивающий необходимые температурные режимы обработки и активный элемент, сорбирующий газы.
В качестве активного элемента, определяющего сорбционные и вакуумные свойства применяются те же материалы, что и в нераспыляемых газопоглотителях.
Технические характеристики
Ёмкость поглощения по водороду (по окиси углерода) – основная характеристика активности насоса, показывающая количество газа, безвозвратно поглощенное насосом (измеряется при комнатной температуре после предварительного активирования).
Электрические параметры подогревателя, определяющие температурные режимы активирования и обезгаживания геттерного насоса.
Минимальное количество возможных циклов реактивирования, при котором ёмкость поглощения насоса ухудшается до значений не хуже чем 10% от номинала.
Геттерный насос НГЦ-3
Рис. 1. Чертёж геттерного насоса НГЦ-3
Рис. 2. Геттерный насос НГЦ-3
| Наименование | Активная поверхность, см², не менее | Ток обезгаживания, А | Время обезгаживания, мин. | Ток активирования, А | Время активирования, мин. | Ёмкость по водороду, л·Па, не менее |
|---|---|---|---|---|---|---|
| НГЦ-3 | 80 | 1,7 – 2,1 | 20–25 | 2,6 – 2,9 | 25–30 | 300 |